水晶振動子を用いたQCM ケミカルフィルターライフモニター HE-QCM-1 Quartz Crystal Microbalance Chemical Filter Life Monitor HE-QCM-1

ハロランQCMに関する論文を紹介します。今までベールに包まれていた事実がQCMによって次々に明らかになっています。Followings are papers on QCM technology. 中島啓之、本田重夫、島田学、奥山喜久夫： QCMによるケミカルフィルタの寿命判定手法の検討 Study of Life Monitoring for a Chemical Air Filter Using Quarts Crystal Microbalance Method（日本エアゾル研究 第20巻 第3号、2005年）  今後の課題とまとめ 本試験では、短い期間で寿命に達するようケミカルエアフィルタを選定したが、500日以上経過してもまだ吸着最終段階に達していない。現在も加速試験は進行中であるので、実際にフイルタが吸着最終段階になり表面汚染防止の観点からみても寿命に到達した状態で、分子汚染モニタの測定結果で寿命の判定が可能か検討を続けていく。 本研究では、ＱＣＭの原理を利用した分子汚染モニタによるケミカルエアフィルタの寿命判定の可能性について検討した。その結果、以下のことがわかった。 ケミカルエアフィルタの除去性能が正常に維持できている吸着初期段階では、分子汚染モニタによりフィルタの１次側と２次側空気中の総有機物濃度の違いを判別できる。 置換吸着段階では、ケミカルエアフイルタの除去率が低下し寿命に到達した状態であっても、表面汚染防止の観点から考えれば効果は維持していると判断できる。表面汚染を防止する目的の場合、ケミカルエアフィルタを継続して使用でき、有効利用が可能である。 分子汚染モニタは、シリコンウェーハやガラス基板などの表面汚染の防止に着目したケミカルエアフィルタの管理に有用である。 分子汚染モニタは、ケミカルエアフイルタの高沸点物質に対する除去性能の変化をリアルタイムで測定できる。(論文から引用) 水晶式モニターで、Cu CMP周辺のCu汚染リアルタームモニター（セリート)ISSM2003 Real Time Monitor of Cu Pollution in Clean Room Ambient near Cu CMP Equipment (Selete) ISSM 2003 湿度共存下におけるフタル酸ジエチル分子のシリコン表面付着脱離挙動のその場測定 In-Situ measurement of Diethyl Phthalate contamination on Silicon Surface in Humid Atomosphere. 鈴木紀章、羽深等、岡村茂、竹内隆、相原雅彦、島田学、奥山喜久夫 （2004年春季 第51回応用物理学関係連合講演会）、2004年3月31日K. Suzuki, H. Habuka, S. Okamura, T. Takeuchi, M. Aihara, M. Shimada, and K. Okuyama. 研究大会会長賞受賞 岡村茂、高須良三 S. Okamura, and R. Takasu：QCMによるクリーンルーム中の分子汚染のリアルタイムモニタ Real time monitoring of airborne chemical contamination in the semiconductor clean room by Quartz Crystal Microbalance.（第21回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会、2003年4月15日・16日） 論文賞受賞 島田学、奥山喜久夫、本田重夫、羽深等：ガス状有機汚染物質の壁面付着量の実時間計測と付着挙動の評価（空気清浄、第40巻第4号、2002年） 岡村茂：QCMによるクリーンルーム中の分子汚染のリアルタイムモニタ（クリーンテクノロジー 第14巻第2号、2004年2月） その他主要論文 岡村茂：QCMによる半導体クリーンルーム中の多点リアルタイム分子汚染計測（空気清浄、第41巻第1号、2003年） Shoko ITO, Ryozo TAKASU, Shintaro SATO, Katsuro YASHIMA, Tetsuro YAMADA, Shigeru OKAMURA: Real Time Detection of Chemical Contaminant from Equipments Using QCM (Quartz Crystal Microbalance) Monitoring Technique (ISSM 2002) Okamura Shigeru, Inoue Minoru Shimada Manabu, Okuyama Kikuo: Real time monitoring system of Airborne Molecular Contamination in the clean room. (ISSM 2002)